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| 标题（Title） | 65 个字符（一般不超过80个字符） |
提供飞行时间二次离子质谱仪,晶圆清洗机,磁控溅射镀膜机,离子束刻蚀机,原子层沉积设备等工艺系统全套解决方案和技术支持_那诺中...
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| 关键词（KeyWords） | 40 个字符（一般不超过100个字符） |
飞行时间二次离子质谱仪,晶圆清洗机,磁控溅射镀膜机,离子束刻蚀机,原子层沉积设备
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| 描述（Description） | 339 个字符（一般不超过200个字符） |
那诺中国的主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统，为科研和工业客户提供飞行时间二次离子质谱仪，晶圆清洗机，磁控溅射镀膜机，离子束刻蚀机，原子层沉积设备等工艺系统全套解决方案和技术支持。在薄膜工艺系统领域，典型的工艺系统涉及PVD物理气相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、用于气体分析的电子电离质谱仪（TOF-MS）等。
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