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| 备案信息 | 备案号：浙ICP备18004799号 名称： 浙江启尔机电技术有限公司 性质：企业 审核时间：2020-01-03 更新 | |
| 网站信息 |
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| 标题（Title） | 12 个字符（一般不超过80个字符） |
浙江启尔机电技术有限公司
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| 关键词（KeyWords） | 122 个字符（一般不超过100个字符） |
启尔机电 浙江启尔 CHEERTECH 浙江启尔机电技术有限公司 浸没式光刻 光刻机 immersion lithography 浸没头 浸没单元 流体测控 流体纯化 超纯水 超纯气 超纯湿空气 半导体装备 IC装备 微流体 流体测量 流体控制
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| 描述（Description） | 167 个字符（一般不超过200个字符） |
浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年，公司主要研发、生产和销售高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件。启尔机电前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队，启尔团队深耕于高端半导体装备细分领域的尖端技术，经过十六年坚持不懈的基础研究和技术攻关，已成长为该技术领域全球前三，国内唯一高科技公司，具有不可替代的行业地位。
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