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注册人/机构：
Alibaba Cloud Computing Ltd. d/b/a HiChina (www.net.cn)
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| 标题（Title） | 40 个字符（一般不超过80个字符） |
菲科半导体（张家港）有限公司-晶圆搬运设备制造商（PHT Robot Inc.）
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| 关键词（KeyWords） | 350 个字符（一般不超过100个字符） |
半导体・Semiconductor・晶圆机械手臂・Robot・晶圆盒・晶圆转换盒・晶圆转换设备・晶圆自动剥离清洗・硅晶圆・日本・中国・半导体材料・蚀刻・光刻机・清洗・光罩・光刻系统・电子束・晶圆・硅片・日本半导体材料・日本半导体设备・半导体设备・晶圆前段模块・硅片前端模块・硅晶片・分选机・分选设备・晶圆搬运设备・EFEM・Sorter・晶圆搬运机器人系统・激光应用・液晶・LCD・光伏・化合物半导体・显示器・LED・玻璃基板搬运机器人系统・激光应用、晶圆传输设备・晶圆传输自动化・晶圆零部件・设备前端模块（EFEM）・晶圆传片机（Sorter）・真空传输平台（VTM）・半导体核心精密传输部件・晶圆装载系统（Loadport/SMIF）・晶圆传输机器人（Robot）・晶圆对准装置（Aligner）
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| 描述（Description） | 255 个字符（一般不超过200个字符） |
半导体・Semiconductor・晶圆机械手臂・晶圆搬运设备・晶圆盒・晶圆转换盒・晶圆转换设备・晶圆自动剥离清洗・EFEM・Sorter・晶圆搬运机器人系统・激光应用系统及液晶LCD显示器用玻璃基板搬运机器人系统、激光应用系统相关设备的开发、设计、制造和销售、晶圆传输设备・晶圆传输自动化・晶圆零部件・设备前端模块（EFEM）・晶圆传片机（Sorter）・真空传输平台（VTM）・半导体核心精密传输部件・晶圆装载系统（Loadport/SMIF）・晶圆传输机器人（Robot）・晶圆对准装置（Aligner）
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